光刻工藝設(shè)備產(chǎn)品概述：$n應(yīng)用于3D封裝、LED、微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、功率器件等領(lǐng)域$n主要配置：自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)曝光、LED光源、機(jī)器視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度硅片承載臺(tái)、自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償系統(tǒng)$n LED 光源：3波長(zhǎng)任意配置，支持更多應(yīng)用場(chǎng)景$n高分辨率、高均勻性；使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)簡(jiǎn)便：$n機(jī)器視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：頂部和底部雙模式對(duì)準(zhǔn)，大視野、高精度；4種照明光可選，工藝適應(yīng)性強(qiáng)； 手動(dòng)、自動(dòng)模式自由切換
半自動(dòng)光刻機(jī)產(chǎn)品概述：$n應(yīng)用于3D封裝、LED、微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、功率器件等領(lǐng)域$n主要配置：自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)曝光、LED光源、機(jī)器視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度硅片承載臺(tái)、自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償系統(tǒng)$n LED 光源：3波長(zhǎng)任意配置，支持更多應(yīng)用場(chǎng)景$n高分辨率、高均勻性；使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)簡(jiǎn)便：$n機(jī)器視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：頂部和底部雙模式對(duì)準(zhǔn)，大視野、高精度；4種照明光可選，工藝適應(yīng)性強(qiáng)； 手動(dòng)、自動(dòng)模式自由切換
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
